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薄膜生长硅基片相关论文
硅基片上C60薄膜的生长特性和结构特性研究
本文采用物理气相沉积(PVD)法在不同预处理的Si(100)衬底上沉积了C60膜,并利用AFM和XRD研究了其生长特征和结构特性。结果表明,C60膜的生长特性不仅与C60分子的移......
期刊
碳60
薄膜生长硅基片
结构特性
physical vapor deposition C60 film AFM XRD
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