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薄膜退除相关论文
磁控溅射法制备TiN硬质薄膜以及退除薄膜工艺研究
随着科学技术的逐渐发展,在制造业,铸造业等行业中的作业条件愈趋极端,这就对使用工具的品质提出了更高的要求。要求工具表面有好......
学位
硬质薄膜
等离子体增强磁控溅射
薄膜退除
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