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表面吸附物相关论文

InSb CMP超精密加工表面吸附物控制技术研究

　　本文介绍了锑化铟表面吸附物的控制技术，从化学机械抛光和清洗两个过程来控制锑化铟表面的吸附物。通过大量实验提出了优化方案......

会议

CMP InSb 超精密加工表面吸附物锑化铟化学机械抛光表面粗糙度优化方案

铸造硅砂表面吸附物的物理化学特性研究

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会议

铸造硅砂表面吸附物物理化学

砷化镓抛光晶片表面吸附问题的分析

采用AES（俄歇电子能谱）测试方法，分析了经过不同方法后步清洗工艺处理的GaAs抛光晶片表面态，结果表明，抛光晶片表面吸附物主要是与晶片......

会议

砷化镓抛光晶片俄歇电子能谱表面吸附物反应生成物晶片清洗技术发展化学吸附工艺处理封装工艺测试方法悬挂键抛光液表面态组合残留

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