表面非均匀性相关硕士博士期刊学术论文 - 搜论网

表面非均匀性相关论文

移动接触线动力学行为及表面非均匀性影响研究

本研究回顾了本课题组近年来针对非均匀平直表面上的气-液-固三相接触线移动现象的研究工作,同时总结了本方向近期的研究进展.移动......

会议

三相接触线移动现象动力学行为表面非均匀性微流动功能

提高GLSI多层铜布线精抛平坦化性能研究

随着集成电路集成度的不断提高以及技术节点尺寸的逐渐减小,多层布线化学机械平坦化（CMP）已经成为微电子领域实现晶圆全局平坦化唯一......

学位

化学机械平坦化碱性铜精抛液碟形坑残余铜表面非均匀性

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