超厚Si-DLC薄膜相关硕士博士期刊学术论文

本论文基于代替传统硬铬镀层（HCP）材料,使用等离子增强化学气相沉积技术,通过软硬层交替沉积释放应力的方法得到超厚类金刚石碳基薄......