超微压相关硕士博士期刊学术论文 - 搜论网

超微压相关论文

差压变送器在超微压时精度及误差

对于量程0～50Pa及0～100Pa的超微差压变送器是否能够实现0.075%精度性能....

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超微压差压变送器精度仪表

SOI基纳米硅薄膜超微压压力传感器研究

设计分析了一种SOI基纳米硅薄膜的压阻式压力传感器,构建SOI埋层氧化层、SOI上层硅和AlN绝缘层多层压力敏感薄膜结构。利用纳米硅......

期刊

SOI 纳米硅薄膜超微压压力传感器

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