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超精密位移测量相关论文
用于计算电容主电极精确定位安装的电容式测微距传感器设计
电容式位移传感器具有体积小、结构简单、非接触式测量、动态响应快、无迟滞变形、分辨率高、对高温等恶劣环境适应能力强、价格便......
学位
电容式测微距传感器
新一代立式计算电容
柱状主电极精确定位
精密阻抗测量系统
基于平面电容传感器的大量程、高精度二维位移直接解耦测量方法和系统研究
随着科学技术的迅速发展,精密检测技术得到了越来越广泛的应用。特别是位移检测技术,随着现代工业的发展,逐渐朝着高精度、大量程......
学位
平面电容传感器
二维位移测量
大量程
直接解耦测量方法
超精密位移测量
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