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超高真空蒸发设备相关论文

原子光刻用超高真空蒸发设备的设计和建立

原子光刻是原子光学在微细加工技术领域的新应用.在对各种材料和真空泵性能综合考虑的基础上,设计并建立了一台用于原子光刻的超高......

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原子光刻超高真空蒸发设备设计原子光学微细加工技术 Atom photolithography Vacuum evaporation System

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