微细加工技术相关论文
随着科技的进步与发展,很多领域内的设备都趋于微小型化。在这样的大背景下,制造业也步入了分子时代。在航空航天、电子产品、医疗......
本文基于微细加工技术中的深反应离子刻蚀(DRIE)技术设计了一款中心频率在0.355THz的E面3d B四分支矩形波导定向耦合器。利用奇偶......
磁传感器的应用有着悠久的历史,从古代用于航海的指南针到当代广泛应用于航空航天、自动化测量、磁性存储、生物医学等各行业中,扮......
简要介绍了国内外环行带、隔离器等策波铁氧体器件小型化、微型化、片式化的发展趋势，提出了集中建设微细加工技术和微组装工艺研究......
微波通信技术的迅猛发展要求微波介质材料具有更优异的介电性能。铋基立方焦绿石结构薄膜材料铌酸铋镁Bi1.5Mg1.0Nb1.507(BMN)具有......
学位
在这篇论文中设计制造了一种正方形的微谐振腔型的固态染料激光器，采用的激光染料是罗丹明6G，所选用的基质材料有三种，分别是聚甲基......
微细加工技术是由瑞士BinC公司发明的一种新型加工工艺,在2004年法国巴黎举办的国际表面处理展览会(SITS)和2004年在法国里昂举办......
本文以培养高素质、强能力人才为目标,在加强理论授课的同时,对课程进行了大胆改革.以问题驱动,实例分析,由浅入深的内容安排为主......
设计了一种新工艺———利用硅微结构直接作为模具来制作微小固体染料激光器谐振腔型滤波器。首先通过组合刻蚀工艺制作硅模具 ,......
柔性微图形成型技术是微细加工技术的一个新的方向.介绍了一种新的柔性成型系统--三维定位压控微流系统,并用它制作了柔性微五边形......
微细加工技术是精密加工技术的一个分支，是加工微小尺寸零件的多种技术方法的总称。是各种传统精密加工方法的延伸和半导体加工技术......
引言 在电子行业，集成电路的应用非常广泛，每年都有许许多多通用或专用的集成电路被研发与生产出来，本文将对集成电路的应用以及发......
微细加工技作为现代加工技术的延伸，是二十一世纪的关键技术之一。本文介绍了微机电系统的原理及特点，列举了一些微机电系统中所涉及......
生物芯片技术是90年代初发展起来的一门新兴技术,将给21世纪生命科学和医学研究带来一场革命.其中生物芯片中的微阵列分析最为关键......
图像传感器在已建立的相当大的市场基础上，销售额不断攀升，迎来了属于自己的销售旺期（见图1）。图像传感器市场发展如此之快，主要源于由......
陈大鹏,中国科学院（以下简称中科院）微电子所研究员,博导,先后参与或者主持过多项国家集成电路重大专项、国家自然基金、863计划、97......
随着半导体微细加工技术的发展,预计硅SOC的集成度可达万亿个晶体管,单个晶体管的尺寸将达到10 nm范围内.因此从理论上研究纳米尺......
微光开关是新一代全光通信网络中的关键器件.利用微细加工技术制造微光开关具有很多突出的优点,受到广泛的研究.总结了几种典型的......
为了研制可调谐光纤光栅滤波器而采用拉伸装置和光纤光栅一体化的微小器件结构.实现方法是由微细加工技术加工制造一种新的波长可......
合成了用于LIGA微细加工技术的聚甲基丙烯酸甲酯抗蚀剂,采用同步辐射装置X射线深度曝光,可得到深宽比45～90,深度大于450微米,细线宽......
介绍了一种通过微细加工技术即二次X射线曝光制作凹面光栅的方法.首先利用X射线截面光强遵循高斯分布的性质,无LIGA掩模版曝光显影......
LIGA技术自其发明和公开报道已有十几年的发展历史，已在世界各地发展起来，带动和激发了微机电系统——MEMS（Microelectromechanical S......
微机电系统是一个新兴的技术领域.阐述了微机电系统的特点、加工工艺、应用及其现状和发展趋势.......
超微电极具有常规电极无法比拟的优良的电化学特性. 超微电极包括单超微电极和超微电极阵列, 单超微电极响应电流较小, 一般仪器难......
原子光刻是原子光学在微细加工技术领域的新应用.在对各种材料和真空泵性能综合考虑的基础上,设计并建立了一台用于原子光刻的超高......
对圆柱形复合腔结构微机械谐振元件进行了设计研究,提出了一种基于柱形腔结构的微机械复合谐振元件的设计方法,并对其结构及特性进......
自从真空电子管发展到晶体管以来,电子器件变得越来越精巧,灵敏度越来越高。近年来,随着微细加工技术的发展,晶体管的灵敏度已达到......
以微机电系统(MEMS)微细加工技术为研究基础,对微针阵列模具的加工方法及微针阵列的制备展开研究。重点研究了硅的湿法刻蚀结合SU-......
生物芯片是近十年来发展起来的一项新技术,其实质是一种微型化的生化分析仪器,可分为被动式和主劝式两大类.主动式芯片技术是指在......
利用微细加工技术研究在玻璃上制作电泳芯片的方法，测试了微管道的伏安特性曲线。在该电泳芯片上进行了注样和分离实验，采用激光诱导......
微型热泵是指特征尺寸为＂厘米级＂的热泵,可用于建筑物、交通工具、衣服或其它装置的供暖或制冷。微电子机械系统（MEMS）的迅速发展,使过......
介绍了微机械加工技术的现状及其发展趋势。...
介绍了微机械加工技术的现状及其发展趋势。...
基因芯片（Gene Chip）又称DNA芯片或DNA微阵列（DNA microarray），是将大量的DNA片段按预先设计的排列方式固化在载体表面，并以此作为探针，在......
微电极具有高的空间分辨率和良好的稳定性,作为微区分析工具,在生命科学、环境科学和高技术领域得到广泛应用。传统微电极制备方法......
针对新型螺旋线慢波结构——双矩形螺旋线慢波结构,即在金属屏蔽框内平行加载两个具有矩形横截面形状的自由螺旋线慢波结构,利用三......
MEMS技术将是21世纪科技与产业的制高点之一,而微细加工技术又是MEMS发展的重要基础.微细加工技术在传统光刻工艺的基础上,又发展......
采用磁控溅射方法，在玻璃基片上制备了曲折形三层等宽FeCuNbSiB／Cu／FeCuNbSiB多层膜。在1．40MHz下，研究了多层膜材料的巨磁阻抗（GMI）效应......
微细加工技术是指制造微小尺寸零件的加工技术，它所涉及的是微米（μｍ）级的加工，现已发展到亚微米（１μｍ以下）和纳米（１ｎｍ）尺寸的加工技术。目前已成......
微系统是微型机构、微型传感器、微型执行器以及信号处理和控制电路甚至接口、通信和电源于一体的微型器件或系统。微系统的习惯术......
重点论述了微机械的概念、特点、研究概况和微机械的加工制造技术-微细加工技术。阐述了微机械与微／纳米科技、微电子技术之间的相......
回顾了生物芯片的发展历史，重点介绍了生物芯片技术的两大技术基础：分子生物技术和微细加工生物技术；阐述了生物芯片技术的核心内容，总......
介绍超微型电机概念及其制造技术和国内外研究概况。...
软X射线显微镜由于其分辨率高、能在“水窗”波段对水中含碳物质形成天然的衬度、射线能量可与许多元素的吸收边对应等特点，在生命......
针对行波管更高工作频率和更大输出功率的发展需要,提出了一种半矩形环螺旋线慢波结构。基于三维电磁仿真软件HFSS的模拟研究表明:......
