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用于离子辅助成膜的高离子流密度等离子体源
A plasma source utilizing direct current (DC) voltage between an anode and a hot hollow cathode is employed to create hi......
期刊
等离子体源
辅助镀膜
310.1860
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310.6870
310.7005
金刚石表面离子束改性
介绍了采用离子束技术对金刚石进行表面改性的试验研究,包括试验装置、试验方法及改性效果分析.试验结果表明,与未改性金刚石相比,......
期刊
金刚石
表面改性
离子注入
离子束混合
辅助镀膜
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