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返流泄漏相关论文
螺杆真空泵内气体热力过程的模拟与实验研究
螺杆真空泵广泛应用在航天、半导体、石油、化工等各个领域,以其抽速范围宽、振动噪音低、结构简单紧凑、抽气腔元件无摩擦、寿命......
学位
螺杆真空泵
返流泄漏
热力过程
理论建模
模拟计算
实验研究
螺杆真空泵内气体热力过程的解析计算与实验研究
本文提出了一个描述螺杆真空泵内气体级间返流泄漏量沿程分布的简化模型,基于此模型对螺杆真空泵内的气体热力过程进行深度分析,解......
期刊
螺杆真空泵
热力过程
返流泄漏
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