螺杆真空泵相关论文
动平衡是螺杆真空泵设计制造过程中必须解决的重要问题。一般方法是将螺杆转子不平衡质量等效分解到选定的两个平行平面，采用等效替......
螺杆真空泵被广泛应用于半导体、镀膜、化工等行业，是一种理想的干式真空泵。其中内压缩式螺杆真空泵在气体输送阶段就开始对工作气......
螺杆真空泵作为干式中低真空泵，具有抽速范围宽、能耗低、无油污染等诸多优点，广泛应用于各个领域。为了服务于国家碳中和的发展战略......
螺杆真空泵广泛应用在航天、半导体、石油、化工等各个领域,以其抽速范围宽、振动噪音低、结构简单紧凑、抽气腔元件无摩擦、寿命......
干式螺杆真空泵转子的快速、高精度加工是提升整机性能与降低生产成本的关键技术。本文基于一种附加刀具垂直位置与倾角调节的螺杆......
本文提出了一个描述螺杆真空泵内气体级间返流泄漏量沿程分布的简化模型,基于此模型对螺杆真空泵内的气体热力过程进行深度分析,解......
采用有限元热-力耦合的方法,通过加载热边界条件以及力、位移边界条件对转子进行数值模拟,得出了两转子温度场分布和变形情况。结......
干式螺杆真空泵,因其无油污染、抽气功能部件不接触无摩擦、能适应恶劣工况以及可直排大气等优点而得到生产和应用单位的广泛青睐......
以变螺距螺杆真空泵转子为研究对象,建立主动转子的三维有限元分析模型,对转子在热载荷作用下的温度场和热变形进行有限元分析。计......
基于双螺杆真空泵气体输运的特点,将泵腔内级间的泄漏通道简化为不同类型的真空管路,采用相邻级间的平均压强确定不同压强下级间泄......
基于螺杆啮合原理,通过数学推导,得到单头等螺距梯形内凹型线的完整型线方程,包括齿面方程、端面截形以及轴向截形。给出了面积利......
螺杆转子是螺杆真空泵的内核部分,转子型线的优劣直接影响到泵的整体性能、运行的稳定可靠以及制造成本。本文基于螺杆啮合原理,得......
以环丁砜减压抽真空工艺为例,该工艺真空介质含丁二烯和二氧化硫,丁二烯在高温下易自聚,二氧化硫具有腐蚀性,在对环丁砜减压抽真空......
在研究螺杆泵各项间隙构成原理的基础上,通过CFX软件对同一级齿顶圆周间隙模型进行模拟计算,分析了流体温度、间隙高度、泄露通道......
本文首先介绍了螺杆真空泵的结构、性能、技术参数以及使用中的注意事项。同时还对螺杆真空泵与罗茨型干泵、爪式干泵在气路和抽速......
