选择区掺杂相关硕士博士期刊学术论文 - 搜论网

选择区掺杂相关论文

选择区掺杂方法研究

针对低成本、易操作和安全无污染的半导体掺杂要求提出了一种选择区扩散掺杂方法。利用电子束曝光光刻开窗,采用改进的二氧化硅乳......

期刊

扩散工艺选择区掺杂二氧化硅乳胶 Diffusion process Selective region doping Emulsion of SiO2

SOI脊形光波导损耗研究

SOI(Silicon-On-Insulator)脊形光波导由于其优异的电学和光学性能成为集成光路的重要组成部分,在未来光互连与光计算等领域有着非......

学位

集成光学脊形光波导散射损耗自由载流子吸收损耗测量选择区掺杂

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