二氧化硅乳胶相关论文
二氧化硅乳胶是一种新型的液态扩散源。为满足需要,本所除研制并生产掺杂单个元素的乳胶源外,还研制出几种掺杂双元素的二氧化硅......
由于砷的固溶度较高,可获得较高的表面浓度,其扩散系数小适应于V-MOS的源区扩散,为栅氧化的温度选择创造了一个有利的条件.以往由......
遵照毛主席“七·二一”光辉指示,我们实践小组与天津半导体器件厂工人相结合,在厂各级党组织领导下,在工人师傅和技术人员的具体......
本工作研究了掺砷二氧化硅乳胶源的制备、涂布及扩散工艺、扩散规律。把掺砷乳胶源应用到集成电路TTLSM323生产的隐埋扩散中去,得......
针对低成本、易操作和安全无污染的半导体掺杂要求提出了一种选择区扩散掺杂方法。利用电子束曝光光刻开窗,采用改进的二氧化硅乳......
