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钒靶磁控溅射工艺相关论文
微型薄膜锂离子电池阴极材料V2O5掺杂Cu研究
采用钒靶磁控溅射制备了用于微型薄膜锂离子电池阴极的V2O5薄膜,并采用掺杂金属的方式改善V2O5的性能,在磁控溅射的过程中掺入不同......
会议
微型薄膜锂离子电池
阴极材料
钒氧化物薄膜
钒靶磁控溅射工艺
性能测试
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