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钛-硅-氮复合薄膜相关论文
反应溅射Ti-Si-N纳米晶复合薄膜研究
Veprek等[1]报道了采用气相沉积方法获得硬度高达80~105GPa的Ti-Si-N薄膜,令人惊讶!尽管尚无人从实验上重复出这一结果,但大量研究[......
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钛-硅-氮复合薄膜
纳米晶体
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