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本论文分别采用了反应溅射法和热活性法两种途径制备Si纳米晶,对其光致发光性能、微观组织、相结构和表面价键进行了分析,并对纳米......
以TiN为代表的硬质陶瓷薄膜作为刀具涂层取得了巨大的成功,有力地推动了制造业的发展。高速、干式切削等加工技术的进步对刀具涂层......
用反应溅射法制成了SiO2薄膜,应用傅立叶变换红外吸收光谱图研究其特性。Si-O-Si键的伸缩振动吸收峰和弯曲振动吸收峰分别位于1100......
用反应溅射法制成了SiOx-薄膜，研究其傅立叶变换红外吸收光谱图特性。Si-O-Si键的伸缩振动吸收峰和弯曲振动吸收峰分别位于1100cm^-......
随着航空航天技术跨入超高音速阶段,红外窗口和头罩元件经受着气动热/力等极端使役环境,使得窗口元件的增透保护显得尤为重要,因此......
<正> 利用等离子体辅助物理气相沉积制备化合物薄膜(氧化物、碳化物、氮化物和硫化物等)技术已广泛应用于很多工业领域,包括微电子......
