采用射频溅射,在 Ba_(0.65)Sr_(0.35)TiO_3(BST)薄膜和 Pt/Ti/SiO_2/Si 衬底之间制备10 nm 的 Ba_(0.65)Ru_(0.35)RuO_3(BSR)缓冲......

采用射频（RF）溅射，在Ba0．65Sr0．35TiO3（BsI＇）薄膜和Pt／Ti／Si02／Si衬底之间，制备10nm厚的Ba0.65Sr0．35RuO3（mR）缓冲层，研究了BSR缓冲层对BST薄膜结构......