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利用KLM等效电路模型设计了一种中心频率为478MHz的超声传感器。采用溶胶一凝胶法在硅衬底上制备了厚度为4μm的锆钛酸铅（PZT）厚膜压......
用电泳沉积技术制备了约70μm的PZT[Pb(Zr0.52Ti0.48)O3]厚膜,分析了zeta电位、粘度及电泳沉积速率对PZT悬浮液的稳定性和电泳沉积......
