采用溶胶-凝胶（Sol-Gel）法在Pt/Ti/SiO_2/Si衬底上制备不同Pb过量（未过量、10%、15%）和引入不同厚度（0、100nm、500nm）锆钛酸铅（PZT）缓冲层......

介绍了一种锆钛酸铅镧(PLZT)基铟锡氧化物(ITO)薄膜的湿法刻蚀法。用V(HCl)∶V(HNO3)∶V(H2O)=50∶3∶50的混合溶液对ITO进行不同......