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介绍了一种 Si Ge/Si分子束外延异质结双极晶体管 ( HBT)的研制。该器件采用 3μm工艺制作 ,测量得其电流放大系数β为 50 ,截止效......
介绍了一咱SiGe/Si分子束外延异质结双极晶体管(HBT)的研制。该器件采用3μm工艺制作,测量得其电流放大系数β为50,截止效率fr为5.1GHz,表明器件的直流特性和交......