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锡氮氟相关论文
溅射SnOxFy与SnNxFy减反射涂层
反应高频磁控溅射SnO_xF_y与SnN_xF_y膜的沉积率约达50nm/min,这些膜的折射率约1.7,可用于作为金属氧化物涂层的减反膜。给出了SnO......
期刊
溅射
锡氧氟
锡氮氟
薄膜
涂层
SnO_xF_y thin film
SnN_xF_y thin film
Antireflection coating
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