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锯齿槽光栅相关论文
锯齿槽闪耀光栅制作误差对衍射效率的影响
与矩形槽和正弦槽光栅相比,锯齿槽光栅具有高的衍射效率,可采用全息离子束刻蚀和单点金刚石车削两种方法制造。首先,介绍了这两种......
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锯齿槽光栅
全息离子束刻蚀
单点金刚石车削
误差
衍射效率
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