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非晶硅薄膜的镍诱导横向晶化工艺及其特性
报道了镍诱导非晶硅薄膜的晶化技术,探讨了镍诱导晶化机理。详细调查了诱导化时间和温度对晶化速率的影响,并用Raman、AFM和TEM等测......
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镍诱导
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薄膜
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