横向晶化工艺相关硕士博士期刊学术论文

报道了镍诱导非晶硅薄膜的晶化技术，探讨了镍诱导晶化机理。详细调查了诱导化时间和温度对晶化速率的影响，并用Raman、AFM和TEM等测......