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单晶硅长晶炉用钨钼制品的质量控制
单晶硅长晶炉一般采用石墨材料作为容器、隔热屏和加热器,但是石墨材料容易产生挥发性杂质,影响单晶硅的纯度要求,另外石墨碎裂、......
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单晶炉是一种在惰性气体环境中,用石墨加热器将多晶硅等多晶材料熔化,用直拉法生长无错位单晶的设备.在硅料熔化过程中会产生大量......
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