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目前单晶炉设备全自动控制技术日趋成熟。单晶硅炉拉晶生长过程中,炉体内的真空度稳定性是一个重要的环节。质量流量控制器MFC对于......
CZ法拉制半导体单晶硅,炉室中使用多种碳石墨材料。本文简要介绍单晶炉炉室结构、工作原理,重点阐述适用碳石墨材料的要求和研制应用情......
随着全球能源形势趋紧,太阳能光伏发电作为一种可持续的能源替代方式,于近年得到迅速发展。光伏产业的发展离不开单晶硅材料,而高......
北京京运通科技股份有限公司(以下简称“京运通”),成立于2002年8月8日,是一家以高端装备制造、新能源发电、新材料和节能环保4大产业......
对单晶硅炉用碳素材料的硅化腐蚀后的表面形貌及元素分布测试,研究不同碳素热场材料的硅化腐蚀性能。结果表明石墨内部延伸至表面......
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