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集成固化聚合物相关论文
IH工艺的发展及应用
介绍了IH系列立体光刻技术.使用该系列技术可以加工出具有高深宽比和复杂曲面的各种微结构,可以容易地加工出微可动部件、电子聚合......
期刊
IH工艺
立体光刻
抗蚀剂
聚合物结构
微机电系统
集成固化聚合物
IH process
stereo lithography
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