静电阻力相关论文
MEMS技术是一门新兴的交叉学科，微尺度下表面力的研究是机械学科研究的前沿领域，对微机械技术的发展非常关键。本文以MEMS动平板模型......
微谐振器在MEMS器件中广泛作为感知或致动单元，但其工作在静电场中的部分构件，因微小间隙常会产生静电切向阻力。通过简化硅微谐振器......
由于微机械的表面积与体积之比远大于宏机械,所以微机械中的表面阻力难以忽略,为了改善MEMS器件的性能和可靠性,必须对其影响进行......
