非平衡直流磁控溅射相关硕士博士期刊学术论文 - 搜论网

非平衡直流磁控溅射相关论文

合成参数对ZrN/W和CrN/ZrN纳米多层膜的结构及其性能的影响

纳米级的材料微观设计与制造技术是开发研制新材料的有效途径。本文分别使用离子束辅助沉积和非平衡直流磁控双靶交替反应溅射方法......

学位

离子束辅助沉积非平衡直流磁控溅射力学性能摩擦磨损性能纳米多层膜

中频磁控和非平衡磁控放电特性及Cr-DLC膜层制备研究

金属掺杂类金刚石薄膜具有高硬度、低摩擦系数、低磨损率等优点被广泛应用于抗摩擦领域中。传统磁控溅射存在靶材原子离化率低,反......

学位

中频脉冲磁控溅射非平衡直流磁控溅射放电特性 Cr-DLC薄膜

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