离子束辅助沉积相关论文
近年来,六方氮化硼（h-BN）因其优异的物理和化学性质吸引了许多物理工作者的目光。关于高质量薄膜材料的生长和性能开发的实验和理论......
真空离子镀膜是在材料表面进行薄膜制备的一种加工技术。真空环境下离子镀膜过程复杂,需要监控的工业参数较多,系统的整体耦合性和......
高反膜已广泛应用于各种激光系统及光学仪器中,然而由于高反膜一般厚度较大,光学元件在镀膜后常常由于薄膜应力而引起较大的面形变......
从沉积方式、薄膜厚度、沉积温度和离子束能量四个方面，研究了沉积工艺对氟化镱(YbF3)薄膜可靠性的影响。研究结果表明，相较于电阻加......
利用离子束辅助沉积的方法在ＣＫ４５号钢和ＡｌＴｉ合金的基体上制备了具有不同厚度Ａｌ层或Ａｌ２Ｏ３层的Ａｌ／Ａｌ２Ｏ３双层膜系统。Ａｌ与Ａｌ２Ｏ３层之间是厚度为１００ｎｍ的梯度界面层。利用电化......
期刊
为了制备高输出功率的441.6nm氦-镉激光反射镜,研究了氧离子束辅助工艺及退火后处理对ZrO2单层膜及441.6nm氦-镉激光器ZrO2/SiO2反......
表面热流的准确测量对传感器响应速度和灵敏度有比较高的要求,原子层热电堆(ALT)薄膜传感器具有显著的优势。但现有的ALT基于单晶......
因出色的磁性能,烧结钕铁硼材料已成为当今最受欢迎的稀土永磁材料,广泛应用于电子、电力机械、医疗器械、航天航空等领域。但是其......
本文主要研究了表面预处理、轰击离子能量、离子密度、温度、沉积时间等离子束工艺参数对单晶Si表面沉积的Ti薄膜结构的影响.......
目的： 利用离子束辅助沉积技术，在微弧氧化钛材料表面制备羟基磷灰石涂层，评价机械抛光、微弧氧化、以及微弧氧化与离子束辅助沉积......
采用离子束辅助沉积制备氮化碳基薄膜如BCN、SiCN及a-CNx薄膜,采用红外光谱、拉曼光谱及X-射线光电子能谱表征了薄膜的化学键态、......
本文从理论和实验两个方面讨论了紫外滤光片的设计以及其在真空环境中的制备。从Maxwell方程组入手，推导了薄膜的特征矩阵，建立了计......
目前，国内空间太阳电池组件的电连接多采用银互连片。但在低地球轨道(Low Earth Orbit,LEO)，由于原子氧的作用，银容易被侵蚀而剥落，造......
由于Er3+在1.54μm波段的发光是由4f壳层中电子的4I13/2→4I15/2跃迁产生的,对应着石英光纤的最小吸收窗口,因此在光通讯领域得到......
本文采用电弧离子镀技术,制备了(Ti1-x-yAly Six)N和(Zr1-xAlx)N薄膜,利用扫描电镜（SEM）能谱分析（EDS）X射线衍射（XRD）,显微硬度计,分析天......
YBa2Cu3O7-δ(YBCO)带材具有载流水平高、不可逆场高、磁场下超导性能好、成本较低等优势,其市场潜力巨大。离子束辅助沉积(IBAD)......
学位
本论文用离子束辅助真空电弧制备了nc-TiN和nc-ZrN薄膜、nc-TiN/CNx复合薄膜、nc-TiN/Cu和（nc-Ti，W）N/Cu多层薄膜。用X-射线衍射仪（XRD......
第二代高温超导带材YBa2Cu3O7-x（YBCO）以其高不可逆场和大电流承载能力,在输电线缆、电动机、超强磁体、限流器等领域有着极其广阔的......
本文首先对Ti-N-C膜系的硬质膜的性能、制备以及检测手段进行了综述。在此基础上，采用离子束辅助中频非平衡磁控溅射技术制备了Ti／Ti......
光学薄膜的抗激光损伤阈值对激光技术而言具有重大的意义。论文通过分析比较采用了β-偏硼酸钡晶体（β-BaBO）晶体作为镀膜基片，因为其......
纳米级的材料微观设计与制造技术是开发研制新材料的有效途径。本文分别使用离子束辅助沉积和非平衡直流磁控双靶交替反应溅射方法......
本文尝试使用离子束辅助沉积(IBAD)的方法在医用不锈钢317L上沉积调制周期分别为4 nm、5 nm、6 nm、7.5 nm、12 nm的TiN/Ag多层膜；......
由于类金刚石( DLC)薄膜具有很多优良的物理学、化学性质和广泛的应用前景，对它们的生长机制和合成方法的研究一直是物理学及材料科......
本文旨在利用超高真空离子束辅助沉积与射频磁控溅射技术在Si(100)及A12O3 (111)基底上设计合成TiB2/Si3N4和TiB2/c-BN纳米多层膜......
研制成功了一台计算机控制系统 ,用来改进用于纳米复合薄膜制备的离子束辅助沉积技术。计算机、石英晶体振荡器和模糊控制器使系统......
本文对离子束辅助磁控溅射低温沉积的ITO薄膜进行了研究,重点考察了辅助离子束能量对ITO薄膜的光电性能和晶体结构的影响。结果表......
首先简单介绍了用于离子束辅助沉积的端部霍尔离子源的工作原理,然后分析了其性能对磁场的要求,据此介绍了磁路组件的设计.最后,采......
为选出合适的辅助离子源进行沉积制备c-BN薄膜,通过对高能和低能辅助镀膜离子源的重要性能进行比较研究之后,在单晶Si基体进行应用......
采用离子束辅助沉积方法在95％(质量比)Al2O3基板上制备Cu薄膜,利用热氧化法使Cu薄膜氧化,并与Al2O3基板反应,制备出CuAl2O4薄膜.通......
借鉴热传导和分子动力学领域里的相关知识,对铜铟硒薄膜太阳能电池沉积过程中入射硒离子束在表面的能量沉积热效应进行了研究,建立......
本文利用离子束辅助沉积方法在钼栅极的表面镀上一层碳膜 ,采用模拟二极管的方法测量阴极活性物质Ba、BaO蒸发沉积在镀碳钼栅与纯......
该文从挂篮荷载计算、施工流程、支座及临时固结施工、挂篮安装及试验、合拢段施工、模板制作安装、钢筋安装、混凝土的浇筑及养生......
采用离子束辅助沉积技术在奥氏体不锈钢基体材料表面制备纯铝涂层 ,尔后在 4 0 0℃大气环境中氧化得到Al+Al2 O3复合涂层。试验结......
采用分子动力学 (MD)模拟研究了离子束辅助沉积 (1BAD)生长类金刚石 (DLC)膜的物理过程 .分别选C2 分子和Ar离子作为沉积源和辅助......
首先利用TFCalc薄膜软件进行了膜系设计和优化,然后采用国产真空镀膜机WTS800/1000,通过离子束辅助沉积技术在Bk7基体上交替镀制了......
采用离子束辅助沉积法(IBAD)在单晶硅片上制备了Ti-Si-N纳米复合薄膜,研究了轰击能量大小对Ti-Si-N纳米复合薄膜生长及力学性能的......
用离子束辅助沉积方法(IBAD)制备MoS2-Ag和MoS2-Ta复合膜以及MoS2膜.用XPS分别检测在相对湿度100%室温环境下存放45天和室温去离子......
采用低能Ar离子束辅助沉积方法,在Mo/Si(100)基底上制备Ag膜。实验发现,用Ar离子束溅射沉积的Ag膜呈(111)择优取向。若在溅射沉积A......
心脏瓣膜病严重威胁人类健康. 植入人工心脏瓣膜是挽救此类病人生命的可靠途径. 全世界已超过200万例植入了热解碳人工心脏瓣膜. ......
用离子束辅助沉积技术在９Ｃｒ１８钢基体上形成了ＴｉＣｘＮｙ膜。ＴＥＭ观察膜呈多晶结构，具有（１１１）、（２００）和（２２０）择优取向。ＡＥＳ和ＸＰＳ分析进一步证实，ＴｉＣｘＮｙ膜呈含氧配置。膜的硬度与Ｎ含量有......
本文利用孪生靶50 kHz中频磁控反应溅射的方法,在多孔阳极层离子束源产生的低温离子束辅助条件下制备了光学性能良好的氧化钛薄膜.......
电子枪蒸发制备了氧化铪薄膜,对氧离子束辅助和未辅助两种情况下的样品进行了折射率、吸收、激光损伤阈值等属性的测试,结果表明,......
用XRD、FTIR、XPS和EDAX等分析方法对 60keV、剂量为 7× 10 15ions/cm2 的Ar+ 离子束在钛合金表面辅助沉积的生物玻璃陶瓷 (BGC)......
