随着微电子技术的飞速发展，作为Si基集成电路核心器件的金属氧化物场效应管(MOSFET)特征尺寸需不断减小。由于量子隧穿效应的影响，作......

半导体逻辑器件和存储器件是集成电路中最重要的两个部分。近年来,随着集成电路工艺的发展,半导体存储器件的特征尺寸已经缩小到30......

随着互补型金属-氧化物-半导体(Complementary Metal-Oxide-Semiconductor, CMOS)器件特征尺寸沿着摩尔定律按比例缩小,传统的硅基......