高锰硅硅异质结相关硕士博士期刊学术论文

采用磁控溅射及高真空退火工艺制备高锰硅/硅异质结,详细研究了溅射参数、退火温度对高锰硅薄膜结构和性质的影响,首先用XRD和SEM......