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4H-SiC功率BJT相关论文
4H-SiC功率BJT的实验研究
碳化硅以其优良的材料特性在大功率、高温以及抗辐照等领域有着广阔的研究和商业前景。作为一种重要的功率器件,4H-SiC双极型晶体管......
学位
4H-SiC功率BJT
刻蚀工艺
P型欧姆接触
版图设计
工艺流程
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