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5B05铝合金相关论文
晶圆切割刀片基体应力状况激光冲击波调整技术基础研究
5B05铝合金广泛用作集成电路晶圆切割刀片材料,对其表面残余应力有较严格的要求。传统生产工艺因工件表面残余应力不能满足要求往......
学位
激光冲击波
5B05铝合金
主应力
数值模拟
晶圆切割刀片
表面残余应力
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