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Al/AlOX/Al超导隧道结的制备工艺研究
研究了在高阻硅衬底上Al/ AlO/Al隧道结的制备技术,采用电子束蒸发制备Al/ AlOx/Al三层材料,湿法刻蚀制备底电极和上电极以及电路连......
期刊
Al/AlOx/Al
超导隧道结
铝刻蚀
制备工艺
Al/AlOx/Al
Superconductivity tunnel junction
Al-etch
F
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