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AlGaN成核层相关论文

AlGaN成核层对SiC衬底外延GaN薄膜应力及缺陷影响的研究

研究了成核层生长条件对SiC衬底上GaN薄膜晶体质量和剩余应力的影响。采用AlGaN成核层并提高其生长温度,能明显降低SiC衬底上GaN外......

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SIC衬底 GAN薄膜 AlGaN成核层应力晶体质量 SiC substrate GaN film AlGaN nucleation layer stres

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