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AlN减反射膜相关论文
基于AlN减反射膜的4H-SiC光导开关研究
高功率脉冲技术在国防军事、航空航天、重工业等领域有着广泛的应用,功率开关在功率脉冲系统中担任着重要的角色。光导开关与其他......
学位
光导开关
4H-SiC
AlN减反射膜
Silvaco
磁控溅射
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