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AlN-Si3N4膜相关论文
AlN—Si3N4膜
用直流反应溅射沉积AlN-Si3N4膜。通过红外吸收光谱和X射线衍射来验证薄膜的结构。通过各种测量,给出了吸收系数、电阻率、应力、硬......
期刊
化学气相沉积
直流反应溅射
AlN-Si3N4膜
Chemical vapor deposition
DC reactive sputtering
Amor
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