切换导航
文档转换
企业服务
Action
Another action
Something else here
Separated link
One more separated link
vip购买
不 限
期刊论文
硕博论文
会议论文
报 纸
英文论文
全文
主题
作者
摘要
关键词
搜索
您的位置
首页
期刊论文
AlN—Si3N4膜
AlN—Si3N4膜
来源 :真空科学与技术 | 被引量 : 0次 | 上传用户:s3100401
【摘 要】
:
用直流反应溅射沉积AlN-Si3N4膜。通过红外吸收光谱和X射线衍射来验证薄膜的结构。通过各种测量,给出了吸收系数、电阻率、应力、硬度和结合力。实验表明,AlN-Si3N4膜具有良好的
【作 者】
:
孙金坛
邱德润
【机 构】
:
合肥工业大学应用物理系,230009
【出 处】
:
真空科学与技术
【发表日期】
:
1994年6期
【关键词】
:
化学气相沉积
直流反应溅射
AlN-Si3N4膜
Chemical vapor deposition
DC reactive sputtering
Amor
下载到本地 , 更方便阅读
下载此文
赞助VIP
声明 : 本文档内容版权归属内容提供方 , 如果您对本文有版权争议 , 可与客服联系进行内容授权或下架
论文部分内容阅读
用直流反应溅射沉积AlN-Si3N4膜。通过红外吸收光谱和X射线衍射来验证薄膜的结构。通过各种测量,给出了吸收系数、电阻率、应力、硬度和结合力。实验表明,AlN-Si3N4膜具有良好的光、电和机械特性。
其他文献
氧离子注入硅SOI结构的椭偏谱研究
本文利用椭偏光谱法测量了能量为200keV、剂量为2×10~(18)cm~(-2)的~(16)O~+注入Si以及退火样品.应用多层介质膜模型和有效介质近似,分析了这些样品的SIMOX结构的各层厚
期刊
椭偏光法
离子注入
SOI结构
硅
Ellipsometry
SOI structure
SIMOX structure
Multilayer moded
剖宫产术后阴道试产130例临床分析
目的 探讨疤痕子宫再次妊娠成功阴道试产的相关因素.方法 回顾性分析130例剖宫产术后阴道试产患者,了解前次剖宫产手术时间、手术方式、手术指征、疤痕情况,观测分娩时间、产
期刊
再次剖宫产术
并发症
疤痕子宫
佛山市老年人家庭病床服务需求调查
目的了解佛山市老年人对家庭病床服务的看法,探讨老年人接受家庭病床服务的需求意愿及其影响因素。方法在佛山市5个社区随机抽取老年人进行问卷调查,了解老年人对家庭病床的
期刊
老年人
家庭病床
需求
意愿
Ti—O薄膜电致变色性能
像光致变色、热致变色材料一样,电致变色材料是一种功能性材料。对电致变色材料施以电场,经过电化学过程,便能产生一稳定可逆的光吸收或反射变化,在外表性能上则表现为颜色及透明
期刊
薄膜物理学
电致变色
钛-氧
玉米播期对宿根甘蔗套种玉米产量和土地复合产值的影响
探索玉米不同播期对宿根甘蔗套种玉米的产量和土地复合产值的影响,为当地生产中甘蔗合理套种玉米提供参考。以当地广泛种植的甘蔗品种“粤糖93/159”和玉米品种“会单4号”为
期刊
玉米
甘蔗
套种
播期
土地复合产值
maize
sugarcane
intercropping
sowing date
gross output value
Cu-Cr Cu-Ti双层薄膜离子束混合与其电阻和硬度性质
借助于透射电子显微镜(TEM)研究了Cu-Cr、Cu-Ti双层离子束混合。分别用200keVAr<sup>+</sup>和350keVXe<sup>+</sup>注入Cu-Cr、Cu-Ti双层薄膜,对其混合后的表面硬度和电阻进行
期刊
离子束混合
CU-CR
CU-TI
双层薄膜
表面硬度
电阻变化
混合程度
透射电子显微镜
注入剂量
硬度测量
碰撞级联
ZDB—1300制冷机低温泵的研制
本文介绍了所研制的大抽速制冷机低温泵及其优越的抽气性能。
期刊
制冷机
低温泵
设计
BRAF突变提示转移性结直肠癌患者转移灶切除术后预后不良
BRAF突变发生于5%~11%的转移性结直肠癌患者。该研究分析了BRAF突变患者转移灶切除术后的临床病理因素、PIK3CA突变频率以及预后情况。研究通过回顾性的对2009年至2012年单中心1
期刊
低温等离子体对有机物表面改性的实验研究
用平板气体放电等离子体对聚丙烯微孔膜与聚四氟乙烯表面进行改性的实验研究结果;经等离子体改性的聚丙烯微孔膜表面由疏水特性变为亲水特性,接触角小于20°;聚四氟惭烯棒表面
期刊
低温等离子体
表面处理
光固化氢氧化钙修复乳磨牙髓室底穿孔的疗效观察
目的 观察光固化氢氧化钙修复乳磨牙髓室底穿孔的临床疗效.方法 选择38例乳磨牙髓室底穿孔的患者,采用光固化氢氧化钙修复穿孔,术后1年、2年通过临床和X线片检查评价疗效.结
期刊
光固化氢氧化钙
乳磨牙
髓室底穿孔
与本文相关的学术论文