AlN—Si3N4膜

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用直流反应溅射沉积AlN-Si3N4膜。通过红外吸收光谱和X射线衍射来验证薄膜的结构。通过各种测量,给出了吸收系数、电阻率、应力、硬度和结合力。实验表明,AlN-Si3N4膜具有良好的光、电和机械特性。
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