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研究了Ar+刻蚀对InGaAs,n-InP和p-InP表面的损伤,并用湿法腐蚀后处理消除损伤.Ar+刻蚀后InGaAs表面均方根粗糙度较小,而n-InP和p-I......
为了研究TiO2氧空位形成的影响因素,用管式电阻炉在空气、Ar及不同温度下对TiO2烧结.采用扫描电子显微镜(SEM)、X射线衍射(XRD)和X射线......
Ar+刻蚀应用于聚合物的深度剖析中时,通常会造成聚合物表面结构的损伤,从而无法得到真实的聚合物结构信息。本实验结合X射线光电子能......