Ar+离子束刻蚀相关硕士博士期刊学术论文

用Ar＋离子束在p型HgCdTe（碲镉汞）上刻蚀出不同体积的环孔,利用激光诱导电流方法测试转型后的n区宽度.研究发现,在相同的刻蚀条件下,n......