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差温法制备具有Ti、Zn掺杂限流层的BH激光器
在常规液相外延(LPE)系统中,利用差温生长4层激光晶片与Ti、Zn掺杂生长高阻半绝缘InP侧向限制层相结合的方法,制备出了阈值电流约......
期刊
差温法
掺杂
限流层
BH激光器
钛锌
Differential temperature growth Buried Heterostructure(BH) L
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