BPxN1-x薄膜相关硕士博士期刊学术论文

　　以光学石英为衬底,采用热丝辅助射频等离子体增强化学气相沉积方法(HF-PECVD)沉积了BPXN1-X薄膜.通过X射线衍射(XRD)、扫描电......

会议

BPXN1-X薄膜磷掺杂光学带隙

以光学石英为衬底,采用热丝辅助射频等离子体增强化学气相沉积方法(HF-PECVD)沉积了BPxN1-X薄膜.通过X射线衍射(XRD)、扫描电子显......

期刊

BPXN1-X薄膜磷掺杂光学带隙

本文从应用出发,选择光学石英为衬底,采用热丝辅助射频化学气相沉积的方法沉积BPxN1-x薄膜,对样品进行了X射线衍射(XRD)、扫描电子......

期刊

以光学石英为衬底,采用热丝辅助射频等离子体增强化学气相沉积方法(HF-PECVD)沉积了BPXN1-X薄膜.通过X射线衍射(XRD)、扫描电子显......

期刊

BPXN1-X薄膜磷掺杂光学带隙

考虑到目前宽带硬质半导体薄膜材料制备中存在的问题,对传统的CVD方法进行改造,以新型的DBD为离子源成功构建出运行稳定的DBD-CVD......

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