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Bi_4Ti_3O_(12)铁电薄膜溶胶凝胶法制备过程中Bi-Ti溶胶的匀胶规律研究
介绍了Solgel法制备Bi4Ti3O12薄膜的工艺过程,研究了BiTi溶胶在Si基片上的匀胶规律;用TGDTA和TEM技术研究了BiTi干凝胶的形态,并成功地在Pt/Ti/Si基片上制备了c轴取向的Bi4Ti3O12薄膜. The ......
期刊
溶胶凝胶法
Bi-Ti
Bi_4Ti_3O
铁电薄膜
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