Bowing效应相关硕士博士期刊学术论文 - 搜论网

Bowing效应相关论文

ICP体硅深刻蚀中侧壁形貌控制的研究

对影响电感耦合等离子(ICP)刻蚀侧壁形貌的工艺参数进行了分析,通过改变刻蚀/钝化周期、平板电极功率、钝化气体C4F8流量以及重叠......

期刊

微机电系统电感耦合等离子(ICP)刻蚀深反应离子刻蚀(DRIE) 侧壁形貌 Notching效应 Bowing效应

ICP刻蚀硅形貌控制研究

硅的刻蚀形貌控制是MEMS器件加工中的关键技术之一,形貌控制是硅表面刻蚀和钝化反应取得平衡的结果,任何影响刻蚀和钝化反应的因素......

期刊

ICP刻蚀硅形貌控制 bowing效应工艺参数

看过本文同时还关注