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C、N共掺杂NiCr合金薄膜相关论文

氮气流量对C、N共掺杂NiCr合金薄膜微观结构和电性能的影响

目的提高埋入式薄膜电阻材料的电性能,使其具有较大的方阻值、电阻率和较小的电阻温度系数。方法利用闭合磁场非平衡反应磁控溅射......

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C、N共掺杂NiCr合金薄膜埋入式薄膜电阻磁控溅射微观结构电性能 C and N co-dopedNiCr alloy thin filmembedde

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