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CMOS微纳加工工艺相关论文
面向硅基光互连应用的无源光子集成器件研究进展
光互连是突破传统微电子IC性能瓶颈的重要技术手段,对推进“后摩尔时代”微电子技术的发展和高性能计算技术的实现具有关键性意义。......
期刊
硅基光子学
片上光互连
CMOS微纳加工工艺
无源光子集成器件
光子线波导
微腔滤波器
silicon photonics
on-chip optical i
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