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GaAs/Si/AlAs异质结不同生长温度Si夹层分布的CV实验研究
用MBE生长设备制备了GaAs/Si/AlAs异质结,通过CV法研究了异质结的带阶和GaAs层在不同温度下生长对0.5分子层 Si夹层的影响,得到Si......
期刊
GaAs/Si/AlAs异质结
生长温度
Si夹层
CV测量
实验研究
导带带阶
异质结器件
热扩散
半导体
空间分布
GaAs/AlAs heterojunc
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