Cr-Si-Al电阻薄膜相关硕士博士期刊学术论文

为了获得具有高精密性的高阻值电阻薄膜,该文在Cr-Si硅化物靶材中加入Al元素,溅射制备一系列Cr-Si-Al系电阻薄膜,具体研究靶材成分......